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  2020.05.12
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（1）該電路板能夠產(chǎn)生16路輸出的信號(hào)源，信號(hào)源的頻率為13.56MHz的正弦波，并且每一路信號(hào)的相位都能相對(duì)于一個(gè)基準(zhǔn)獨(dú)立可調(diào)，移相范圍在0-360°，移相精度在0.1°以下，移相功能能夠通過(guò)上位機(jī)對(duì)其進(jìn)行控制，這些信號(hào)作為鎖相環(huán)的基準(zhǔn)信號(hào)。

（2）該電路板具有鎖相環(huán)功能，鎖相環(huán)的輸出信號(hào)能夠作為射頻電源的基準(zhǔn)信號(hào)，使射頻電源輸出的功率信號(hào)與基準(zhǔn)信號(hào)同步，頻率為13.56MHz。并且該鎖相環(huán)能夠將負(fù)載的反饋信號(hào)與基準(zhǔn)信號(hào)相比較，進(jìn)行閉環(huán)調(diào)節(jié)。

     （3）該電路板可以完成對(duì)射頻電源的控制、對(duì)負(fù)載內(nèi)氣體壓力檢測(cè)、控制電機(jī)調(diào)節(jié)負(fù)載內(nèi)部諧振、能夠監(jiān)測(cè)負(fù)載反饋信號(hào)是否存在、監(jiān)測(cè)鎖相環(huán)是否工作正常等。

    （4）射頻控制電路板能夠與上位機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)通訊，并將實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)上傳到上位機(jī)，數(shù)據(jù)包括負(fù)載內(nèi)部氣體壓力、電機(jī)位置信號(hào)、鎖相環(huán)是否在正常工作狀態(tài)、負(fù)載反饋信號(hào)是否存在等。

（5）射頻控制電路板與射頻電源接口為BNC。

（6）射頻控制電路板與上位機(jī)的連接端口可自己選擇。

（7）射頻控制電路板供電電壓為DC12V。

（8）射頻控制電路板可以恒態(tài)穩(wěn)定運(yùn)行。

（9）該電路板用于大型設(shè)備上，設(shè)計(jì)成功后，可能需要來(lái)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，地點(diǎn)在北京。

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